（原标题：美国豪赌EUV光刻）

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美国商务部宣布，纽约州创新与环境署 (NY CREATES) 的奥尔巴尼纳米技术综合大楼（IBM 是该综合大楼的主要合作伙伴）将容纳 NSTC EUV 加速器，这是一项重要设施，将有助于确保北美尖端半导体研究、开发和制造。

没有计算机，每个行业、每条供应链、每辆汽车，甚至我们的学校都无法运转。半导体芯片是现代世界计算的核心。在过去的几十年里，半导体制造供应链变得越来越不平衡和脆弱。我们都看到了疫情期间的影响。由于缺乏可用的半导体芯片，消费者无法购买笔记本电脑或汽车等产品。半导体不仅对经济至关重要，而且对美国国家安全也至关重要。

这在很大程度上是国会在 2022 年通过《芯片与科学法案》的原因。该法案的目的是确保美国通过对教育和研究的投资，继续在开发和制造尖端芯片技术方面保持领先地位，同时也通过将北美重新定位为我们日常所依赖的设备的实际制造地。

《CHIPS法案》设立了国家半导体技术中心（NSTC），以创建负责重建美国先进半导体供应链的设施。美国商务部成立了Natcast，该部门负责管理NSTC联盟。Natcast首先着手确定几个设施，这些设施将负责确保美国在先进半导体技术和平衡供应链方面的领先地位。

半导体供应链中必不可少的组成部分之一是极紫外 (EUV) 光刻技术。该技术借鉴了数百年历史的艺术技术，使用由专门的激光等离子体产生的极短波长的光在晶圆上打印尺寸高达几纳米的器件。如果没有 ASML 公司的 EUV 机器，以及将想法变成现实的设备、材料和设计公司生态系统，IBM Research 最近的很多突破都不可能实现。十多年前，首批此类 EUV 生态系统之一在奥尔巴尼纳米技术综合体启动。

Natcast 指出，建立国家 EUV 中心对于保持美国在半导体研究、开发和制造领域的领先地位至关重要。其他拟建中心包括设计和管理设施以及原型设计和先进封装设施，计划稍后公布。这三个中心将在美国建立强大的半导体研究、开发和生产渠道。

今天，Natcast 宣布，新的 NSTC EUV 加速器将设在纽约州奥尔巴尼纳米技术中心，该中心由 NY CREATES 拥有和运营。几十年来，IBM 一直是该中心的主要租户，该公司在半导体研究方面的许多重大突破都发生在该实验室，包括 Nanosheet 技术和发明 2nm 节点——这是目前正在制造的世界上最小的半导体工艺技术。

十年前，当 IBM 宣布推出全球首个 7nm 工艺技术时，我们就说过 EUV 光刻技术是实现该技术的必要条件。自那时起，它就成为了行业标准，研究人员现在正在研究下一步的发展方向。为了设计和制造下一代芯片，ASML 最近开始推出下一代 EUV 机器，称为高 NA（或数值孔径）EUV，它可以在晶圆上生产出尺寸更小的芯片，同时提供高产量的可用芯片。

奥尔巴尼纳米技术中心目前正在校园内建造一个新的研发制造设施，以容纳一台High NA EUV 机器，这将是北美第一台公私合营的High NA EUV 机器。随着建设的继续，IBM 研究人员已经在荷兰 ASML 的工厂中研究机器，并取得了突破，展示了未来芯片设计的 潜力。

奥尔巴尼纳米技术中心拥有约 150,000 平方英尺的洁净室空间，而 NY CREATES 已计划再建造 50,000 平方英尺的空间，部分用于容纳其高数值孔径 EUV 机器。凭借 NSTC EUV 中心的合同，NY CREATES 表示，只需大约三个月即可与 Natcast 一起投入运营，并且它可以根据需要为未来的洁净室建造更多的空间（最多 100,000 平方英尺），以满足这将带来的更多研发兴趣。

Natcast 分享道：“NSTC EUV 中心将为 NSTC 成员提供 EUV 技术，以促进更广泛的研究和商业化道路，包括最具挑战性的特征尺寸技术。”“除了使用 EUV 技术外，该中心还将为 Natcast 研究人员和员工以及成员受让人提供适当的空间，以便在该设施内进行研究和合作。”

这只是哈德逊河谷上游在半导体领域取得的一系列突破和合作中的最新一项，而 IBM 往往走在前列。IBM 首席执行官 Arvind Krishna 表示：“20 年来，IBM 和我们在奥尔巴尼纳米技术中心的合作伙伴一直共同努力，打造一个蓬勃发展的公私生态系统。”如今，奥尔巴尼拥有北美最先进的半导体研发设施之一，在支持美国成为全球半导体领导者的使命方面具有得天独厚的优势。

美国商务部拨款 8.25 亿美元，建设奥尔巴尼 EUV 设施

今天，美国商务部和国家半导体技术中心 (NSTC) 运营商Natcast宣布了首个 CHIPS for America 研发 (R&D) 旗舰设施的预计位置。

CHIPS for America 极紫外 (EUV) 加速器是 NSTC 设施 (EUV 加速器)，预计将在纽约州奥尔巴尼的 NY CREATES奥尔巴尼纳米技术综合体内运行，由联邦政府投资约 8.25 亿美元提供支持。EUV 加速器将专注于推进最先进的 EUV 技术以及依赖该技术的研发。

作为拜登投资美国议程的重要组成部分，CHIPS for America 的推动力来自日益增长的需求，即加强美国半导体供应链、加速美国尖端研发以及在全国范围内创造优质就业机会。该拟建设施将汇集整个生态系统的 NSTC 成员，通过为 NSTC 成员提供技术、能力和关键资源，加速半导体研发和创新。

美国商务部长吉娜·雷蒙多表示：“通过这项首个拟议的旗舰设施，CHIPS for America 为国家技术委员会提供了获取尖端研究和工具的机会，它的启动是确保美国继续成为创新和半导体研发领域的全球领导者的重要里程碑。《CHIPS 与科学法案》的研发部分对于我们的长期国家安全至关重要，并确保美国继续成为全球技术竞争力最强的国家。感谢拜登总统和哈里斯副总统，我们不仅生产了世界上最先进的半导体，而且还建立了一个弹性生态系统，为从智能手机到先进人工智能等所有领域提供动力，保障美国国家安全，并在未来几十年保持美国竞争力。”

国家经济顾问莱尔·布雷纳德 (Lael Brainard) 表示：“拜登-哈里斯政府的这笔 8.25 亿美元投资将巩固奥尔巴尼作为半导体创新和研发领域企业家、研究人员和工程师的世界级中心的领导地位。”

EUV 光刻技术对于制造更小、更快、更高效的微芯片至关重要。随着半导体行业不断突破摩尔定律的极限，EUV 光刻技术已成为一项关键技术，可实现以前无法实现的 7nm 以上晶体管的大批量生产。随着 NSTC 开发能力和计划，获得 EUV 光刻研发对于实现其三个主要目标至关重要：1) 扩大美国的技术领先地位，2) 减少原型制作时间和成本，3) 建立和维持半导体劳动力生态系统。

美国商务部负责标准与技术的副部长兼国家标准与技术研究所所长 Laurie E. Locascio 表示：“NY CREATES 拥有二十年促进有效公私合作关系的成功经验，自成立以来已在半导体研发、制造和劳动力发展方面投资超过 250 亿美元，因此它具有独特的优势来支持 NSTC 的使命，即提供一个开放的环境来加速研究，缩短商业化时间，并在美国发展可持续的半导体生态系统。”

Natcast 首席执行官 Deirdre Hanford 表示：“CHIPS for America EUV 加速器彰显了我们致力于在美国开发和推进下一代半导体技术的承诺。”“通过与 NY CREATES 的合作，Natcast 和 NSTC 成员将能够使用必要的 EUV 光刻工具和工艺，以促进更广泛的研究并加速未来技术的商业化。”

Natcast 和 NY CREATES（一家运营奥尔巴尼纳米技术综合体的非营利性先进半导体研发和劳动力开发机构）预计将为 NSTC 成员建立 EUV 加速器，以开展下一代半导体研发活动。EUV 加速器将于 2025 年投入初始运营，它将使 Natcast、NY CREATES 和 NSTC 成员能够协同开展研发活动，这对于加快创新半导体技术的商业化和加强美国的技术领导地位至关重要。EUV 加速器的主要功能预计将包括：

1、使用尖端的 EUV 光刻工具和下一代研发能力，包括高数值孔径 (NA) EUV 系统，预计 2025 年实现标准 NA EUV，2026 年实现High NA EUV。

2、召集并推动与行业、学术界和政府合作伙伴的合作，以推动技术创新。

3、专门的 NSTC 现场办公室为 Natcast 和 NSTC 成员研究人员提供支持。

4、支持提供、培养和发展人才队伍的计划。

5、努力增加 NSTC 会员数量和参与度，同时与所有 NSTC 设施共同营造开放、协作的研发环境。

美国国家技术中心原型和国家先进封装制造计划 (NAPMP) 先进封装试点设施以及美国国家技术中心行政和设计设施的 CHIPS 仍未建成。该部门和 Natcast 预计将在未来几个月内公布有关选择附属技术中心的流程的信息。

https://www.hpcwire.com/off-the-wire/commerce-department-earmarks-825m-for-albany-euv-facility-pushing-us-semiconductor-advancements/

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